Zählfrequenz der Folgeelektronik (kHz) | |||||||||
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Auflösung (µm) | 0.05 | 110 | 550 | 1100 | 5500 | 11000 | 16500 | - | - |
0.1 | 55 | 275 | 550 | 2750 | 5500 | 8250 | 11000 | 16500 | |
Verfahrgeschwindigkeit (m/s) | 0.01 | 0.05 | 0.1 | 0.5 | 1 | 1.5 | 2 | 3 |
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