检测方式
增量式
线性偏差度
±3 µm
输出电路方式
1 Vpp (sincos)
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±5 µm
输出电路方式
1 Vpp (sincos)
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±3 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
1 Vpp (sincos)
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±3 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
1 Vpp (sincos)
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±5 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
1 Vpp (sincos)
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±3 µm
输出电路方式
1 Vpp (sincos)
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±20 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
Push-Pull (PP) / HTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±3 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±5 µm
输出电路方式
无
LineDriver (LD) / TTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
Push-Pull (PP) / HTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±50 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
Push-Pull (PP) / HTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±50 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
Push-Pull (PP) / HTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
输出电路方式
Push-Pull (PP) / HTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
Push-Pull (PP) / HTL
检测范围
∞
检测方式
增量式
线性偏差度
±20 µm
输出电路方式
LineDriver (LD) / TTL
Push-Pull (PP) / HTL
检测范围
∞